集成电路用超纯水处理设备是利用高压力使水中的带电的离子进行移动,并且与离子交换树脂技术相结合在一起,加速得到超纯水的一种设备。同时水分子可以产生氢离子和氢氧根离子,这些离子可以对树脂进行再生,以使离子交换的树脂保持在最佳状态,能够保持着一直稳定的运行。
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集成电路用超纯水处理设备
集成电路用超纯水处理设备的工艺流程
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
集成电路用超纯水处理设备预处理工艺描述
预处理:预处理工艺的主要目的是去除原水中的全部或部分悬浮物、微生物、胶体、溶解性气体及部分有机杂质和无机杂质,为下级脱盐工艺做准备。预处理的方法很多,视原水水质情况而定,如氯化、凝聚与澄清、多介质过滤和深层过滤。
1、氯化为了减少原水中的微生物,通常加氯作为杀生剂。
2、凝聚与澄清为了把悬浮物及其他杂质变成大颗粒沉积物,并尽快沉降下来,可以在原水容器中加入适量的凝聚剂,可取得良好效果。凝聚的处理对象是细颗粒悬浮和胶体。
3、多介质过滤采用不同粒径的石英砂,自下而上从大到小顺序放置。对含铁锰较高的原水,采用锰砂作滤料,当原水通过滤料时,大部分悬浮物被滤料吸附,同时由于在滤料表面形成的薄膜增加了流阻,从而强化了过滤精度。
4、深层过滤采用绕线式蜂房滤芯及烧结滤芯进行深层过滤,能截流大于1μm的颗粒,有效地去除胶状物和悬浮物,并有除铁功效。
5、吸附吸附法是利用多孔性固体物质,使水中一种或多种有害物质被吸附在固体表面而去除的方法。吸附法去除的对象为有机物、胶体、微生物、游离氯、臭味和色素等。常用的吸附剂为活性炭或大孔吸附树脂。
6、软化处理软化通常采用两种方法:一是加入药剂使钙、镁转换成溶解度小的盐类而除去。二是用离子交换树脂释放钠离子与水中钙、镁离子置换而使钙、镁盐类变为钠盐,达到软化水的目的。
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